新一代代工诊断工具可执行瞬间分析
作者：本站 浏览次数： 更新日期：2006-7-3 11:29:25 字号设置：[ 大 中 小]
应用材料公司（Applied Materials Inc.）近日推出新的诊断工具，据称能够在代工厂设备中执行瞬间分析（split-second analysis）。与其它系统监测工具不同，Applied的NeXus SPC工具每秒监测关键的工艺参数100次。它从多个工艺和腔传感器(chamber sensors)组合数据，以便实时创建定位和跟踪正在变化的工艺条件的模式。据该公司称，该工具能够增加系统的正常运行时间并提高成品率，防止晶圆出现工艺漂移，并有可能制定更具有成本效益的维护时间表。该工具利用了所谓的虚拟传感器（Virtual Sensors）。该公司表示：“这些算法从多种不同类型的工艺和腔传感器构建模型，并根据用户预先定义的控制极限创建精密的报警能力。”NeXus SPC工具的硬件被安装在系统的工厂接口且不需要附加的安装区，目前该硬件已经安装到若干应用材料公司的加工系统之中。Applied Global Services的高级副总裁兼总经理Manfred Kerschbaum说：“NeXus SPC的Process-Aware诊断能力通过把实时窗口提供给完整的工艺环境，包括上游的工艺腔本身的因素，增强了我们的客户对应用材料系统公司加工系统的可用性。”
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